一種簡易的探頭式反射光譜量測系統，整合光源和光譜儀於一體，只需簡單的設置即可進行量測。利用光譜儀量測樣品反射干涉光譜訊號來分析確定透明膜或半透明膜的膜厚和光學參數，透過量測與分析軟體i-Spec，將專業薄膜技術融入簡單而直觀的系統中，使操作人員只需要幾分鐘教學即可使用儀器。