橢圓偏振儀整合偏振光的特性和高速COMS光譜檢測技術，在極短時間內獲取廣波域的橢圓偏振參數( D和y)，並整合反射光譜量測機構，搭配軟體建立材料模型可同時分析偏振參數和反射光譜計算出薄膜之光學參數，是專為滿足分析薄膜特性而設計的工具之一。