LED

發光二極體-LED 從紅光、綠光LED被發明,直至藍光LED問世,終於讓LED能發出足夠亮的白光;加上世人對環保節能的意識更加抬頭,使得LED成為生活中不可缺乏的光源。除了三原色光組合成白光外,在LED內利用鍍膜製程,使高、低折射率的透明導電膜材料堆疊形成具導電性的布拉格反射鏡,可更增加LED的發光效益。

隨著LED技術突破,從MiniLED進展至MicroLED,進而帶動了原子層沉積技術(ALD )的需求。原子層沉積技術(ALD )利用前驅物的化學反應,讓薄膜於基板表面一層一層成長堆疊而成;此特殊製程使薄膜具有不受表面形貌影響、能達到高度均勻性的獨特優點,因而能成為微結構表面的保護層,有效地起到防水阻氣作用,使得ALD技術成為Mini/Micro LED中重要的一環。

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